電子特氣管道系統(tǒng)，簡稱特氣系統(tǒng)由存儲、輸送、分配、控制四類組成，其中“存儲"是指氣源部分（特氣柜GC），“輸送"指配管方面（一般用雙套管），“分配"指二次配部分（氣體分配柜VMB），“控制"指監(jiān)督控制部分（氣體管理系統(tǒng)GMS）。是一種廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、光纖、太陽能電池等微電子行業(yè)的氣路系統(tǒng)。
全自動GC（特氣柜）按功能設(shè)計可分為單鋼瓶、雙鋼瓶、三鋼瓶。
單鋼的設(shè)計通常使用于研究機(jī)構(gòu)或?qū)嶒炇业取９に囍瞥躺形从辛慨a(chǎn)，氣體使用量小，現(xiàn)場可隨時協(xié)調(diào)停機(jī)進(jìn)行鋼瓶之更換，其優(yōu)點節(jié)省空間、成本低、但需透過日常之管理與協(xié)調(diào)以免中斷工藝制程造成損失。
雙鋼與三鋼常用于量產(chǎn)工廠，工藝制程不允許停機(jī)情況，當(dāng)一支鋼瓶使用完后，另一支備用鋼瓶會自動轉(zhuǎn)為供氣，此兩種形式最大的差別是在吹掃管路的高純氮氣是以鋼瓶或廠務(wù)端供應(yīng)，當(dāng)吹掃用的高純氮氣統(tǒng)一由廠務(wù)端來供應(yīng)時，所有特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)不管是否相容，全部連接到同一個供應(yīng)源，會有較高的風(fēng)險值；萬一中央供應(yīng)系統(tǒng)的高純氮氣中斷，警報系統(tǒng)又損壞，恰巧兩種不相容的氣體同時使用吹掃，此時極有可能發(fā)生爆炸的事件發(fā)生，相同性質(zhì)可使用同一瓶鋼瓶來吹掃增加的成本及空間非常有限，是一種非常好的應(yīng)變方式。
特氣系統(tǒng)的/GR特氣架的設(shè)置須符合下列規(guī)定：
氣瓶柜與氣瓶架可采用單工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶內(nèi)置吹掃氣源等多種結(jié)構(gòu)配置；不相容氣體瓶不應(yīng)放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中；氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置作業(yè)用氣體面板；系統(tǒng)的供應(yīng)能力應(yīng)經(jīng)過熱力學(xué)和流體力學(xué)計算核實；氣瓶柜閉門時應(yīng)保持不低于100Pa負(fù)壓，柜內(nèi)的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次/h;自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置固定式氣體泄漏探測器；氣瓶柜柜體 外殼鋼板厚度不應(yīng)小于2.5mm， 并應(yīng)有防腐蝕涂層；氣瓶柜門應(yīng)具備自動關(guān)閉功能， 并應(yīng)配備防爆玻璃觀察窗；氣瓶柜的固定螺栓設(shè)計應(yīng)滿足當(dāng)?shù)氐卣鹪O(shè)防烈度的要求；氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置清晰明確的安全標(biāo)識牌；當(dāng)氣瓶柜放置在有爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境時，其設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。
是專為腐性，毒性等危險性氣體供應(yīng)而設(shè)計的供應(yīng)系統(tǒng)，主材選用SS316L，基本功能包括自動吹掃，自動切換，以及自動切斷（當(dāng)設(shè)定報警信號被觸發(fā)時）。在制造業(yè)的范疇內(nèi)，特別是涉及到半導(dǎo)體與高精度化學(xué)制品的領(lǐng)域，特種氣體（特氣）扮演著至關(guān)重要的基礎(chǔ)材料角色。確保這些氣體穩(wěn)定、安全地供給到生產(chǎn)線，是維持高效生產(chǎn)的關(guān)鍵。特氣管道工程是一種危險性很高的工程，是保證有著易燃易爆、腐蝕、劇毒等性質(zhì)的特種氣體的安全穩(wěn)定輸送的氣體供應(yīng)系統(tǒng)，所以，為了用氣安全，在安裝特氣系統(tǒng)時，要嚴(yán)格遵守其中的一些規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)。
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